3D光学轮廓扫描仪 智能检测设备

功能特点

1. 产品表面段差、高度、宽度、平面度等测量

2. 2D轮廓&3D微观表面形貌分析

3. 2D&3D粗糙度、波纹度、轮廓度测量

4.  多层透明件&半透明件膜厚测量

5. 可配合产线定制非标自动化检测方案

技术参数

1. XY测量范围：100mm x 100mm

2. Z轴测量范围： 4mm (可选配50nm~24mm)

3. 光斑直径：8um (小可达2um以下)

4. XY轴分辨率：50nm

5. XY轴重复性：0.5um

6. Z轴线性度：0.01%F.S (量程范围内 )

7. Z轴分辨率：0.13um (可选配小为14nm)

8. XY轴大扫描速度：100mm/s

9. 可测试样品漫反射大倾角为87度

10. 任何材质产品均可稳定测量，尤其适合玻璃产品